> Microscope Électronique à Balayage (MEB)

Modèle : Jeol JSM-6300F

 

Rôle de l'appareil

   Microscopie électronique à balayage par électrons secondaires et électrons retrodiffusés.
Caractérisation par spectroscopie d’énergie dispersive (EDS)

 

Spécifications techniques

• Canon d’électrons :
- à effet de champ (cathode froide)
- tension d’accélération : 0.5 à 30 kV
- pointe de Tungstène <310>
• Courant de sonde : 10-12 à 10-10 A
• Résolution :
- 1.5 nm en électrons secondaires (à 30 kV et WD = 8mm)
- 3.0 nm en électrons rétrodiffusés (à 30 kV et WD = 8mm)
• Distance de travail (WD): 3 à 53 mm
• Grossissement : 10X (WD = 39mm) à 500,000X
• Détecteurs :
- scintillateur pour les électrons secondaires
- Si jonction-pn pour les électrons rétrodiffusés

 

Accessoires

• Détecteur de rayons X pour analyse EDS (tous les éléments à partir du Carbone)
• Appareil de déposition d’une couche de carbone pour les échantillons isolants

 

Exemples de procédés et de services disponibles

• Observations en microscopie électronique à balayage en électrons secondaires (SEI) et en électrons rétrodiffusée (BSE en mode TOPO et COMP)
• Détermination et quantification des éléments par EDS

 

 

 

Contact : Christophe Chabanier