> Profilomètre XP-2 d'Ambios

Manufacturier : Ambios

 

Rôle de l'appareil

   Le XP-2 d'Ambios est un profilomètre destiné à mesurer le relief de motifs sous-micrométriques à l'aide d'un stylet mobile et de sauver les profils obtenus en format numérique.

 

Spécifications techniques

• Plateau motorisé de 150 x 178 mm
• Logueur maximum d'un simple scan : 60 mm,
· possibilité de raccorder numériquement les scans jusqu'à 150 mm
• Force du stylet : 0.5 à 10 mg programmable
• Épaisseur des échantillons 30 mm max, latitude verticale : 400 um max
• Résolution verticale : 1 Å à 10 um, 15 Å à 100 um.
• Logiciel de rendu 3D et de mesure de stress
• Acquistion des scans en format numérique

 

Accessoires

• Camera CCD couleur avec zoom motorisé 40-160 x
• Table anti-vibration (Herzan DT-6050MV)
• Support amovible de 200 mm pour mesure de stress sur gauffres
• Hauteurs de marche standards 1 micron et 100 nm certifiées NIST
• Stylets de 40 degrés - 2, 1 et 0.2 um

 

Exemples de procédés et de services disponibles

• Caractérisation de dimensions (hauteur, largeur) de motifs de gravure ou de lithographie
• Mesure de stress de couches minces
• Caractérisation de rugosité de surface

Tarif Académique | Industriel :
35 $/h | 105 $/h

 

 

Mesure en 3D d'une gravure profone dans le Silicium, logiciel TrueGage pour le traitement des données.