> Ellipsomètre M-2000

Manufacturier: J.A. Woollam

 

Rôle de l'appareil

   L’ellipsomètre M-2000 de Woollam permet d’analyser les couches minces sur différents substrat très rapidement.

 

Spécifications techniques

• Longueur d’ondes: 370 nm à 1000 nm.
• Cartographie 3D
• Porte d’échantillon: petites pièces jusqu’aux gaufres de 150 mm.

 

Accessoires

• Sondes améliorant la résolution jusqu’à 150 µm

 

Exemples de procédés et de services disponibles

• Vérification journalière d’épaisseur de photorésine
• Mesure d’uniformité de dépôt de couches minces

Tarif Académique | Industriel :
35 $/h | 105 $/h