> Microscope à Force Atomique (AFM) XE-150

Manufacturier : Park Systems

 

Rôle de l'appareil

   Le XE-150 de Park Systems est un Microcroscope à Force Atomique principalement utilisé pour faire de la métrologie non destructive sur nos échantillons nanostructurés ainsi que pour caractériser la rugosité des couches minces fabriqués à l’aide de nos divers équipements de déposition.

 

Spécifications techniques

• Balayage XY avec système de rétro-action en boucle fermée (closed-loop feedback control)
• Dimension scan XY: 100 x 100 µm2 – Scan vertical: 12 µm
• Résolution latérale: < 1.5 nm (closed-loop), <0.01 nm (open-loop)
• Niveau de bruit du balayage en Z : 0.05 nm (maximum)
• Plateau motorisé avec un déplacement maximal de 225 × 150 mm (résolution: 0.5 µm)
• Dimensions maximum de l’échantillon: 150 mm – Épaisseur maximale: 25 mm
• Poids maximum de l’échantillon: 1Kg
• Acquisition de données programmable en multiple points

 

Accessoires

• Caméra CCD haute resolution ( MPx) - champ de vision maximum de 1680 x 1260 µm
• Table anti-vibration active and chambre acoustique
• Logiciel d’analyse d’image AFM
• Pointes très profilées pour la métrologie de nanostructures avec un rapport d’aspect élevé

 

Exemples de procédés et de services disponibles

• Microscopie à Force Atomique en mode contact et sans contact
• Métrologie pour des gravures et lithographie sous-microniques
• Caractérisation de rugosité de surface de couches minces

Tarif Académique | Industriel :
60 $/h | 120 $/h

 

 

Image AFM en 3 dimensions d'un réseau de lignes gravées dans le silicium (lignes de 50nm avec un pas de 100nm, gravées sur 120nm de profondeur)