> Spin-Coater Brewer CEE100

Manufacturier : Brewer

 

Rôle de l'appareil

   Le Brewer CEE100 est une plateforme de dépôt de films minces par centrifugation destiné particulirement aux résines épaisses et au dépôt sur photomasques.

 

Spécifications techniques

• Fonctionnement automatique par programmes sauvegardées (rampe, vitesse de rotation, accélération, décélération)
• Déposition de photorésine manuelle ou automatique
• Développement de photorésine manuel ou automatique
• Substrats: de petites pièces jusqu’aux gaufres de 150 mm / Plaques carrées de 6 pouces
• Vitesse des tournettes: 0 à 6000 rpm
• Accélération: jusqu’à 50 krpm/s

 

Accessoires

• Adapteur pour photomasques, substrats 8in et 6in

 

Exemples de procédés et de services disponibles

• Revêtement de résine photosensible et électrosensible
• Dépôt de résines SU8, LOR

Tarif Académique | Industriel :
20 $/h | 60 $/h