L'INFRASTRUCTURE
Le LMN est un laboratoire intégré de micro- et nanofabrication qui représente un investissement de plus de 33 M$ et comprend 3 unités de recherche et de développement complémentaires:
- la lithographie (électrons et photons) [
brochure]
- la synthèse de couches minces et de nanomatériaux, la gravure nanométrique, l’implantation ionique et le traitement de surfaces[
- la caractérisation de nanomatériaux et de nanodispositifs.
Par sa nature même, le LMN répond aux besoins
- d'une recherche de pointe dans les domaines situés en amont de la réalisation des nanodispositifs, c'est-à-dire la synthèse, la gravure et la caractérisation de nouveaux matériaux, l'implantation ionique et les technologies lithographiques
- d'une recherche précompétitive touchant divers secteurs de haute technologie en permettant la réalisation de dispositifs avancés, de circuits, voire de systèmes et pour tester de nouveaux concepts en nanophotonique, en nanoélectronique et en biomédical.
L'accès au LMN est aussi crucial pour les chercheurs impliqués dans le domaine général de la synthèse et/ou de la caractérisation de nanomatériaux pour des applications dans d’autres secteurs, à savoir en revêtements tribologiques, en énergie, en environnement, etc. Le LMN, en complémentarité avec les installations du CRN2 de l’Université de Sherbrooke et du Laboratoire de physique des plasmas de l’Université de Montréal (liens plus bas), est sans nul doute l’unique infrastructure au Canada qui permette de répondre de manière élargie à tous les besoins en matière de fabrication de nanostructures. En particulier, le LMN a mis à la disposition de la communauté scientifique et technologique un système de lithographie par faisceau d’électrons unique dans le milieu universitaire canadien.
Réservation
des outils du LMN
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